Ny manipulators vacuum dia ampiasaina hamindra na hametraka ny wafer na zavatra ao amin'ny efitrano banga manokana ary ho an'ny fampiasana fitaovana. Manome fahafaham-po bebe kokoa izy ireo satria tsy ampiasaina ny rohy henjana. Ny manipulators vacuum sasany dia misy fitaovana fametahana na effector farany. Ny hafa dia misy hidin'ny entana sy tsorakazo mihozongozona. Matetika, manipulators banga dia ampiasaina miaraka amin'ny efitra banga. Ny mpanentana wafer na robots dia karazana fanodikodinana banga mandeha ho azy amin'ny fampandehanana ny wafers na substrate ao anatiny na ivelan'ny PVD, CVD, plasma etching na efitrano fanodinana vacuum hafa. Mba hamoronana efitrano banga, ny motera banga na ny motera ao anaty vacuum dia manompa ara-batana ny rivotra avy ao amin'ny sambo mandra-pahatongan'ny tsindry ambany-atmosfera irina. Raha misy banga avo lenta ny efitrano banga, dia tsy maintsy ampiasaina ny fanodikodinana banga avo lenta sy maotera banga avo indrindra.
1. Ny endrika tsy manam-paharoa amin'ny sucker dia afaka mampiakatra na mianjera amin'ny sitrapo, fa koa mihodina amin'ny lalana rehetra amin'ny seza raikitra ny sucker mba hahatonga ny fandidiana mety sy marina. Ny endrika fanaraha-maso lavitra dia mitondra fanamorana ny fandidiana ary miantoka ny fiarovana ny mpampiasa.
2. Ny clamp ny vacuum suction milina mampiasa nafarana suction takelaka, amin'ny hery adsorption mahery, avo fiarovana sy ny fiarovana ny vokatra amin'ny fahasimbana.
3. Ny vano vacuum dia afaka mitondra mora foana ny zavatra marefo, sarotra alaina, ary malefaka mba hanatsarana ny fahombiazany, hampihenana ny mpiasa ary hamonjy ny vidin'ny orinasa.